工作原理：

 

　　利用高能離子束照射樣品，使樣品表面受到激發(fā)，釋放出二次離子。這些二次離子主要包括樣品的原子或分子離子、分子離子碎片、原子或分子碎片等。質(zhì)譜儀根據(jù)這些離子的質(zhì)量進(jìn)行分析，從而得到樣品的成分和結(jié)構(gòu)信息。

 

　　工作方式：

 

　　1.樣品制備：

 

　　在進(jìn)行分析之前，需要將樣品制備成合適的形狀和尺寸。通常，樣品需要被制成薄片或薄膜，以便于高能離子束的照射。此外，樣品表面需要經(jīng)過(guò)處理，以去除表面的污染物和氧化物等。

 

　　2.高能離子束照射：

 

　　二次離子質(zhì)譜儀的核心部分是高能離子束照射系統(tǒng)。該系統(tǒng)包括一個(gè)離子源，用于產(chǎn)生高能離子束，以及一個(gè)離子光學(xué)系統(tǒng)，用于將離子束聚焦到樣品表面。常用的離子源包括氧離子源、銀離子源、氬離子源等。

 

　　3.二次離子激發(fā)：

 

　　高能離子束照射樣品表面，使樣品表面受到激發(fā)，釋放出二次離子。這些二次離子主要包括樣品的原子或分子離子、分子離子碎片、原子或分子碎片等。

 

　　4.質(zhì)譜分析：

 

　　釋放出的二次離子通過(guò)質(zhì)譜分析儀進(jìn)行分析。質(zhì)譜儀將離子流導(dǎo)入到一個(gè)電場(chǎng)或磁場(chǎng)中，根據(jù)離子的質(zhì)量進(jìn)行分析。通過(guò)測(cè)量離子的質(zhì)量，可以獲得樣品的成分和結(jié)構(gòu)信息。

 

　　5.結(jié)果解析：

 

　　通過(guò)分析質(zhì)譜儀得到的離子的質(zhì)量和強(qiáng)度信息，可以推斷出樣品的成分和結(jié)構(gòu)。例如，通過(guò)測(cè)量特定離子的強(qiáng)度，可以確定樣品中某種元素的存在量。此外，通過(guò)比較不同質(zhì)譜圖之間的差異，可以確定樣品中不同相的存在和它們的的位置和分布等。